美國alicat M系列氣體質量流量計可同時測量98種以上氣體的質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度,量程比0.01%到100%。

alicat標準氣體質量流量計優勢

所有Alicat流量和壓力儀器的功能用戶可調節的測量和控制以下功能可用于所有流量和壓力控制器。

輕松地使用用戶可調節的設定點限制配置設定點。

控制設備在使用用戶可調節的設定點坡道的設定點到達的速度。

用戶可調節的平均值從1-255毫秒開始，在測量中平滑噪聲。

**程度地提高特定條件的性能和用戶可調節控制收益的氣體。

總計，最小/**跟蹤器和批處理控制

所有設備均可提供免費集成雙流總數（可選）。此功能準確地跟蹤了1 kHz時的總體積和質量流，并且還跟蹤   自上功率或最后一個重置以來所看到的最小/**測量值。

具有總體總數的控制器具有集成的批處理控制（可選），使用戶可以分配精確的流量。

主要指標

量程范圍:0.5 SCCM至12,000SLPM

測量范圍:0.01% – 100%

精度:讀數的±0.6%或滿量程的±0.1%，以較高者為準

可選高精度:讀數±0.5%或滿量程±0.1%，以較大者為準

重復性:讀數的0.1%和滿量程的0.02%

響應時間:< 10ms工作溫度:-10℃~ +60℃

工作壓力:160 PSIA (11 barA)

alicat標準氣體質量流量計特點

同時測量體積流量，質量流量，氣體壓力，氣體溫度。

現場可調的工程單位和STP/NTP條件。

可從98+預加載NIST可溯源氣體校準選擇過程氣體。

定義和存儲多達5種成分氣體的20種定制氣體混合物。

通過集成觸摸板從背光顯示和控制配置中讀取測量值。

可選集成流量累加器和報警器。

流量超過98和20定制氣體混合物

流量儀器預加載了98多個可接可的氣體校準，可確保在開關氣體時保持最高精度。

用戶還可以創建并節省多達20種自定義氣體混合物，每種混合最多5個組成氣體。

注意：可應要求提供自定義氣體校準。

alicat標準氣體質量流量計技術參數

線性范圍0.5%~100%。

標準精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)

高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)

以上精度適用于所有預置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER?)生成的自定義氣體

典型質量流量計響應時間常數: 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)

多種氣體標定: 氣體選擇(Gas Select?)5.0版預置多達130種常用氣體，另內置氣體編輯器(COMPOSER?)允許用戶自定義混合氣體

滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm

常規設備線性范圍: 0.5-100% F.S, 量程可調比 200:1

316L結構設備線性范圍: 1-100% F.S, 量程可調比 100:1 (MS系列)

**允許管路壓力: 145 psig (標準) / 50 psig (MW低壓損系列)

常規設備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍

“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍

標準通訊方式: RS-232數字通訊和0-5v模擬通訊

選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選

選配通訊協議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS

通訊接口: 8針mini-DIN

選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配

動態顯示質量流量、體積流量、**壓力和溫度等過程參數

標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數字式觸摸顯示屏

選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數字式觸摸顯示屏

對撞擊、潮濕環境、安裝方向等不敏感

規格型號

數字顯示，精度1%，0-5V輸出，空氣，CSA防爆認證（可選則：輸出方式與輸出參數、報警、氣體種類、累積器）

M-0.5SCCM-D/5M,GAS:Air，

M-1SCCM-D/5M,GAS:Air

M-2SCCM-D/5M,GAS:Air

M-5SCCM-D/5M,GAS:Air

M-10SCCM-D/5M,GAS:Air

M-20SCCM-D/5M,GAS:Air

M-50SCCM-D/5M,GAS:Air

M-100SCCM-D/5M,GAS:Air

M-200SCCM-D/5M,GAS:Air

M-500SCCM-D/5M,GAS:Air

M-1SLPM-D/5M,GAS:Air

M-2SLPM-D/5M,GAS:Air

M-5SLPM-D/5M,GAS:Air

M-10SLPM-D/5M,GAS:Air

M-20SLPM-D/5M,GAS:Air

M-40SLPM-D/5M,GAS:Air

M-50SLPM-D/5M,GAS:Air

M-100SLPM-D/5M,GAS:Air

M-250SLPM-D/5M,GAS:Air

M-500SLPM-D/5M,GAS:Air

M-1000SLPM-D/5M,GAS:Air